臭氧作为高效广谱无残留污染的气体消毒剂比许多常用的传统消毒剂具有特殊的优越性，因此内置式臭氧发生器在很多行业都得到了重用。臭氧与各种化学消毒剂相比，其杀菌能力与过氧乙酸相当，高于其他消毒剂。
臭氧会自行分解为氧气，不产生残留污染，消毒后不需通风换气。常规消毒均需通风换气或化学中和，非常麻烦而又降低消毒效果。而臭氧可直接对产品使用，进行杀菌或防霉保鲜，为干法消毒，简单易行。臭氧发生器杀菌浓度对许多产品而言是极微弱的氧化浓度，基本无害。
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内置式臭氧发生器在消毒灭菌方面的优越性
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